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芯纳微电子取得用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构专利,解决动密封结构易真空漏气的问题:真空镀膜
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金融界2025年8月26日消息,国家知识产权局信息显示,芯纳(扬州)微电子设备有限公司取得一项名为“一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构”的专利,授权公告号CN223268746U,申请日期为2
2025-11-24
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